| SE INVESTIGO LA FOTOQUIMICA DE LOS COMPLEJOS DICETONATOS Y ALQUILTROPOLONATOS EN ESTADO SOLIDO CON MIRAS A DESARROLLAR UN NUEVO METODO PARA LA DEPOSICION FOTOLITOGRAFICA DE METALES Y OXIDOS DE COBRE, NIQUEL Y URANIO. CON ESTE OBJETIVO SE SINTETIZO APROXIMADAMENTE CINCUENTA COMPLEJOS EN LOS QUE SE INVESTIGO LA FOTOREACTIVIDAD EN SOLUCION Y EN ESTADO SOLIDO. SE DEPOSITARON PELICULAS DELGADAS DE LOS COMPLEJOS METALICOS Y SE ANALIZO SU CALIDAD EN TERMINOS DE AMORFOCIDAD Y UNIFORMIDAD MEDIANTE ESPECTROSCOPIAS FT-IR Y UV, FIJANDOSE EN DOS PARAMETROS BASICAMENTE: AMORFOCIDAD Y UNIFORMIDAD. VARIOS FUERON LOS COMPLEJOS QUE MOSTRARON UNA EXCELENTE CALIDAD DE PELICULAS PRECURSORAS, DE LOS CUALES SE SELECCIONARON SEIS PARA SER IRRADIADOS SOBRE UNA SUPERFICIE DE SI(100). LOS FOTOPRODUCTOS FUERON EXAMINADOS MEDIANTE ESPECTROSCOPIA DE DIFRACCION DE RAYOS-X Y AUGER, MICROSCOPICA ELECTRONICA DE BARRIDO (SEM), DETERMINACION DE RESISTIVIDAD POR EL METODO DE VAN DER PAW Y ADHERENCIA POR EL METODO DEL SCOTH TAPE. |